北京低晶微针样品

多种有机材料已成为微加工领域的主力军，其中用来制作微针阵列的主要材料是PMMA，而SU-8和PDMS常被选择为制作过程中的辅助材料。利用PMMA材料制作顶端角为45°的微针阵列结构，其制作方法采用双深X射线曝光，在电极正反两面溅射金属以实现正反两面电连接。PLGA(聚乳酸-羟基乙酸共聚物)制作的倾斜的微针，其中微针长度为400um，顶部直径为30um，底部直径为100um。SU-8材料制作的塔形的微针阵列，主要采用正反两面紫外曝光和反应离子刻蚀的方法制作而成，微针高为350um，底端直径为70um。PMMA材料制作的塔形的微针阵列，是由SU-8微针阵列翻模而成。由于微针的深宽比较大，依靠PMMA本身的硬度无法顺利刺入皮肤因此需要在PMMA微针表面覆盖一层金属以增加其硬度。生物医学推动了微针在药物传输等领域的应用。北京低晶微针样品

先进的3D打印方法可以制造出受控几何形状的聚合物微针(难以使用传统方法制造)。Cassie利用连续液体界面生产的三维打印技术设计并制造出了刻面微针阵列。与光滑的金字塔形设计相比,刻面微针的设计增加了表面积,以增加了模型表面涂层中的疫苗组分(卵清蛋白和CpG)。利用荧光标记和活着的动物成像,评估了小鼠体内疫苗的保留和生物利用度。刻面微针阵列与皮下注射相比,微针透皮递送不仅增强了皮肤中疫苗的含量,而且还改善了引流淋巴结中免疫细胞的活性。浙江固体微针晶圆微针根据针高可以分成不同的产品。

利用化学溶液湿法腐蚀的微针可以降低微针的制作成本，制作过程中不需要大型的刻蚀设备，在普通实验室就能够完成工艺制作。但腐蚀过程比较难以精确控制，并且需要进行实时观察，而且不确定因素还较多。溶液湿法腐蚀对硅片的晶向、腐蚀的温度、腐蚀的时间和掩膜形状的要求都是非常严格的。由于掩膜形状和腐蚀晶向的选择性，溶液湿法腐蚀形成的微针形状像山峰，所以比干法刻蚀形成的微针短，直径比较大，所以单位面积的微针数量比干法刻蚀的微针数量少。

首批微针是用硅加工工艺制备的，但是其他的材料如不锈钢、玻璃、陶瓷、麦芽糖、半乳糖和各种聚合物等也可以用来加工制备微针。在过去的几年里，研究人员用了大量的方法来制备各种各样的微针，包括传统的微电子制造工艺如化学各向同性刻蚀、注模、反应离子刻蚀、表面处理技术、多晶硅微铸造、光刻-电铸-复制技术和激光束钻孔。除此之外微针的制备还有着不同的设计以及不同的类型，两种基本的设计是同平面微针和异平面微针。当然也有同平面和异平面的相结合的微针。同平面微针的设计中，微针平行于微加工表面，而在异平面微针设计中微针垂直于微加工表面。微针作用在皮肤上时仍有一定的风险性。

Shibata T,Yamanaka S利用深度反应离子蚀刻的冲孔效应,制造出具有半球形顶部的中空 SiO2 微针的半球阵列,但是此方法生物相容性不好,还需要进一步验证SiO2微针的力学性能。Hasegawa Y, Yasuda Y对单晶硅进行微加工,使其具有小曲率半径,然 后利用各向异性湿法蚀刻制造了一种硅微针,通过该微针在金属板上形成压痕,成功制造出了针尖高度高、密度大的微针阵列。岳瑞峰等人采用微加工技术批量制造出高度和阵列密度分别为 140μm 和 730cm的硅基实心微针阵列,并通过体外、体内实验研究了其对透皮给药的影响。微针给药具有无痛、操作方便等优势。杭州固体微针模具

涂层微针是将药物涂抹于整个针体。北京低晶微针样品

目前，文献中报道较多的干电极的制作材料主要包括：单晶硅、金属（钛、镍、不锈钢）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在单晶硅片上采用深反应离子刻蚀技术工艺制备了高度较高的实心微针阵列。有人在钛薄板上利用微加工工艺制备了钛微针用于经皮给药系统的研究。有人利用深曝光的方法制备了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微针用于脑机接口系统。虽然干电极的制作材料多种多样，其基材的选择主要考虑以下几个因素：1）材料的生物相容性；2）微针阵列的机械强度；3）材料加工工艺的复杂度及工艺成本。北京低晶微针样品